Burada MEMS sistemlerinin ne olduğu, anlamları ve nasıl yapıldığı dahil olmak üzere MEMS (Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler) teknolojisini tartışacağız. Bu yazının sonunda MEMS sensörleri ve uygulamaları hakkında daha derin bir anlayışa sahip olacaksınız.
MEMS sistemi nedir?
MEMS sistemi, mekanik ve elektrikli bileşenleri mikroskobik ölçekte birleştiren bir teknolojidir. MEMS sistemleri, çeşitli işlevleri gerçekleştirmek için mekanik elemanları, sensörleri, aktüatörleri ve elektronikleri tek bir çip üzerinde birleştirir. Bu sistemler otomotiv sensörleri, tıbbi cihazlar ve tüketici elektroniği dahil olmak üzere çok çeşitli uygulamalarda kullanılmaktadır.
MEMS ne anlama geliyor?
MEMS, Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler anlamına gelir. Bu teknoloji, elektronik devrelerle entegre edilebilen minyatür mekanik cihazların ve sensörlerin oluşturulmasını içerir. MEMS cihazları, hem küçük boyutlu hem de oldukça işlevsel sistemler üretmek için mikrofabrikasyon tekniklerinden yararlanır.
MEMS sensörü nedir?
MEMS sensörü, hızlanma, basınç veya sıcaklık gibi fiziksel olayları tespit etmek için MEMS teknolojisini kullanan bir sensör türüdür. Bu sensörler küçük boyutları, yüksek hassasiyetleri ve çeşitli ortamlarda çalışabilme yetenekleriyle karakterize edilir. Örnekler arasında akıllı telefonlarda ve otomotiv sistemlerinde kullanılan ivmeölçerler, jiroskoplar ve basınç sensörleri yer alır.
MEMS nasıl yapılır?
MEMS cihazları, yarı iletken üretiminde kullanılanlara benzer mikro mühendislik teknikleri kullanılarak üretilir. Süreç tipik olarak şunları içerir:
- Biriktirme: Bir alt katmana ince malzeme katmanları uygulamak.
- Litografi: Malzeme katmanlarında desenler oluşturmak için ışığın kullanılması.
- Aşındırma: Mekanik yapıları tanımlamak için istenmeyen malzemenin kaldırılması.
- Dicing: Gofretin ayrı ayrı MEMS cihazlarına kesilmesi.
- Ambalaj: Cihazları korumak ve sistemlere entegrasyona olanak sağlamak için muhafaza etmek.
Bu makalenin, MEMS sistemleri ve sensörlerinin ne olduğu ve nasıl yapıldığı da dahil olmak üzere MEMS teknolojisi hakkında bilgi edinmenize yardımcı olacağını umuyoruz.
