En este artículo te enseñaremos sobre el proceso de fabricación de dispositivos MEMS, su funcionamiento y los orígenes de la tecnología MEMS. Al final de esta publicación, comprenderá claramente cómo se crean los MEMS, cómo funcionan y su historia.
¿Cómo se fabrican los MEMS?
Los dispositivos MEMS se fabrican utilizando sofisticadas técnicas de microfabricación. El proceso generalmente implica varios pasos clave:
- Deposición de material: Se depositan capas finas de materiales sobre una oblea de silicio. Los materiales comunes incluyen silicio, polisilicio y varios metales.
- Fotolitografía: se aplica a la oblea un material sensible a la luz llamado fotorresistente. Luego, los patrones se transfieren al fotorresistente utilizando luz ultravioleta y máscaras.
- Grabado: el fotorresistente expuesto se utiliza como máscara para eliminar el material no deseado de la oblea, creando las microestructuras.
- Cortar en cubitos: La oblea se corta en chips o dispositivos individuales.
- Embalaje: Los dispositivos MEMS terminados se empaquetan para protegerlos y permitir la integración en sistemas electrónicos.
¿Cómo se fabrican los dispositivos MEMS?
La fabricación de dispositivos MEMS implica ingeniería de precisión y varias técnicas especializadas:
- Deposición química de vapor (CVD): se utiliza para depositar películas delgadas de materiales sobre la oblea.
- Sputtering: Proceso para depositar finas capas metálicas.
- Grabado de iones reactivos (RIE): una técnica de grabado avanzada que utiliza plasma para grabar materiales con alta precisión.
- Unión de obleas: Implica unir dos o más obleas para crear estructuras complejas.
¿Cómo funciona un MEMS?
Los dispositivos MEMS funcionan aprovechando movimientos mecánicos a microescala para interactuar con su entorno. Por ejemplo:
- Los acelerómetros miden la aceleración detectando cambios en el movimiento mediante pequeños elementos mecánicos.
- Los giroscopios miden el movimiento de rotación detectando cambios en la velocidad angular.
- Los sensores de presión detectan cambios de presión midiendo la deformación mecánica de un diafragma.
Estos dispositivos convierten los cambios físicos en señales eléctricas que pueden ser procesadas por circuitos electrónicos.
¿Quién creó MEMS?
La tecnología MEMS se desarrolló gracias a contribuciones de varios investigadores e ingenieros. Los avances clave en MEMS comenzaron en las décadas de 1980 y 1990, con importantes contribuciones de investigadores de instituciones como la Universidad de California, Berkeley, y empresas como IBM y Honeywell.
¿Qué es MEMS?
MEMS significa Sistemas Microelectromecánicos. Se refiere a la tecnología que integra componentes mecánicos y eléctricos a escala microscópica para crear dispositivos que pueden realizar diversas funciones. Los MEMS se utilizan en una amplia gama de aplicaciones, incluidos sensores automotrices, dispositivos médicos y electrónica de consumo.
Esperamos que este artículo te haya ayudado a conocer el proceso de fabricación de los dispositivos MEMS, su funcionamiento y sus orígenes.
