Article dans CET, Nous Vous Explierons Le Processus de Fabrication des Dispositifs MEMS, LEUR FONCTIONNEMENT ET LES ORIGINES DE LA TECHNOLIE MEMS. À la fin de cet Article, Vous Aurez une compréhesion claire de la façon ne mems sont créés, de leur quictionnels et de Leur Histoire.
Commentaire Sont Fabriques Les Mems?
Les dispositifs mems sont fabriques à l'identification de techniques de microfabrication sophistiques. Le Processus Comporte Généralement Plusieurs Étapes Clés:
- Dépôt de Maturiaux: Dees Couches de Maturiaux Sont décosées sur une planche de silicium. Les Maturiaux Courants Comprennent Le Silicium, Le Polysicium et Divers Métaux.
- Photolithographie: un matériau sensible à la lumière intilé photorésiste est applié sur la plaquette. Les motifs Sont Sont Suite transférés sur la Résine Photosensible à l'identité de Lumière Ultraviolette et de Masques.
- Gravure: La Résine Exposée photosensible est utilisée comme masque pour éliminer les matériaux indésirables de la plaquette, microstructures Créant Ainsi les.
- Découpage en des: la plaquette est découpe de découpe en puces ou en appareils individus.
- Emballage: les dispositifs mems finis sont emballés pour les protéger et permettre leur Integration danans des systèmes électroniques.
Commentaire Sont Fabriques Les Appareils MEMS?
La Fabrication de Dispositifs mems implique une ingénierie de précision et Plusieurs Techniques Spécialisees:
- Dépôt chimique en phase Vapeur (CVD): utilisé pour le déposer de minces Films de Maturiux sur la plaquette.
- Pulpérisation: Procédé de Dépôt de fines couchés MÉTALLES.
- Gravure Ionique Réactive (RIE): Technique de Gravure Avancée qui utilise le plasma pour être graver les matériaux avec une Grande Précision.
- Liaison de plaquettes: implique la liaison de deux ou plaquettes plaquettes ensemble complexes de structures craer des structures.
Commentaire Fonctionne Un mems?
Les dispositifs mems fonctionnt en exploitant Les Mouvements Ménaliques à l'Échelle microscopique pour interagir avec leur environnement. Par exemple:
- Les Accéléromètres Mesurent l'accélération en-Détectant Les modifications de movement à l'identité de minuscules éléments mécaniques.
- Les gyroscopes Mesurent le movement de rotation en décorcant les modifications de vitesse angulaire.
- Les Capteurs de Pression Détectent Les modifications de Pression en Mesurant la Déformation Mécanique d'Un Diaphragme.
CES APPAREils convertisente les modifications physiques en signaux électriques pouvantâtres traits par des circuits électroniques.
Qui a Créé Les Mems?
La Technologie Mems A Été developpee grâce aux contributions de diverses chercheurs et ingénieurs. Les Principaux Avancées dans le domaine des mems a-t-il commission dans les annees 1980 et 1990, Grâce aux contributions significatives de Chercheurs d'Institutions teins que l'université de californie à berkeley et d'épris comme ibm et honeywell.
Qu'est-ac que le mems?
MEMS signifie des systèmes micro-électro-mécaniques. Il fait référence à la technologie qui intègre des composants mécaniques et électriques à une échelle microscopique couler cère des dispositifs capables de remplir diverses fonctions. Les Mems Sont utilisés dans les grandes éventail d'applications, Notamment Les Capteurs Automobiles, Les Dispositifs Médicaux et l'Électronique Grand public.
Espérons que cet est un article un aide à apprendre davant Sur le processus de fabrication des dispositifs mems, leur fonctionnelement et lers origines.
